干式液氦溫區探針臺

干式液氦溫區探針臺

干式液氦溫區探針臺是卓聚專為樣品的非破壞檢測和真空潔凈而設計的,測試靈活,廣泛應用于直流(DC),射頻(RF),MEMS, 納米電子,超導性,納米電路的光電特性,量子點和量子線,非破壞性測試等。利用住友F-50連續流型、變溫制冷系統,低溫可達6k,同時配備自動溫度控制器(穩定度為0.05 K),帶有觸控界面和LabView驅動,工作溫度范圍在6 K to 400 K 。另加防輻射窗口可截斷樣品更大的熱輻射,可測量更大的尺寸樣品。

干式液氦溫區探針臺

干式液氦溫區探針臺尺寸圖1?????干式液氦溫區探針臺尺寸圖2

干式液氦溫區探針臺 產品優勢

1.真空腔體:真空度優于6×10-4Pa。降溫后優于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜);

2. 探針控制:標配6個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm,調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜;

3. 顯微鏡模塊:連續變倍單筒顯微鏡,光學放大倍率:1.4X~9X(使用2X附加物鏡時),視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭,帶同軸照明和環形照明,帶機械調焦和光學調焦;

4. 變溫樣品臺:50mm直徑。變溫范圍:30K~400K??販胤€定性優于±0.01K;

5. 可選配接入光纖,可將一根或幾根電學探針替換為光纖;

6. 系統直流漏電低于1pA;

7. 產品含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀。

 

干式液氦溫區探針臺產品參數

型號 LTZ-6H-06
外形 838*800*1355
系統功率 2.5KW
電壓 380V三線交流
X-Y軸行程定位精度 ±0.01mm
探針調節精度 ±0.01mm
腔體真空度 1.0*10^-6pa
重量 200kg
測試直徑 6/8/12寸
探針軸行程 110mm
探針XYZ行程 15mm
制冷方式 干式液氦制冷
X-Y軸額定速度 手動調節
腔體直徑 245mm
探針臂數量 6
冷頭功率 1.5KW
溫度下限 3.5K
探針臂 每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針,樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
顯微鏡倍率 4X~9X(使用1X附加物鏡時)
地腳 底部塑膠減震地腳
探針頻率 26GHz—100GHz(可選)

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