壓電三軸納米探針臺

壓電三軸納米探針臺

三軸納米探針臺產品圖

壓電三軸納米探針臺實現了三維空間上的準確定位,它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應用于在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

壓電三軸納米探針臺使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

三軸納米探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

壓電三軸納米探針臺應用案例:

三軸納米探針臺應用案例圖

通過壓電納米位移臺的納米精度定位,兩個探針通過與樣品接觸,完成在SEM里實現對二維材料的電學測量。

同樣的,通過壓電納米位移臺也可以在更多領域完成高精度實驗,例如可應用于納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等。

同時產品可以適配市面上絕大多數的SEM,例如:日本電子,日立,FEI,TESCAN等。

三軸納米探針臺尺寸圖

壓電三軸納米探針臺尺寸參數
探針臺外形尺寸(長*寬*高) 107.0*75.6*43.3 mm
三軸外形尺寸(長*寬*高) 48.6*33.2*38.6 mm
樣品臺面平面度 10 ?μm
探針臺總重量 225 g
運動參數
三軸X行程 ±10 mm
三軸Y行程 ±10 mm
三軸Z行程 15.7 mm
運動分辨率 0.05 nm

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