壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺

壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺

壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺,得益于特殊的結構設計,卓聚科技的Z軸掃描臺,提供約等于5nm的粗調步進。產品支持真空,低溫等應用。

直線納米位移臺 Z軸掃描臺

直線納米位移臺 Z軸掃描臺尺寸

Z軸掃描臺尺寸參數
中間位置外形尺寸(長*寬*高) 45.6*44.0*24.6 mm
樣品臺面平面度 <5 ?μm
總重量 78 g
運動參數
Z軸行程 ±1.0 mm
粗調步進 5~200 nm
細調行程 300 nm
細調步進(理論值) 0.005 nm
閉環運動
重復定位精度 4 nm
分辨率 2 nm
負載
豎直方向負載 10 N
操作環境
閉環(開環)操作溫度 -20~80(-269~80)
是否適用真空 /

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