壓電二維納米位移臺

壓電二維納米位移臺

壓電二維納米位移臺,XYMF-133-100A平移臺實現了在XY二維空間上的準確定位,具有分辨率高,行程大(XY軸行程±50mm),帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單,定位準確,能在真空下使用等優點,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。

壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,百分百真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作,并且在宏觀行程范圍內同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環閉環控制。

二維納米位移臺XYMF-133-100A平移臺

 

二維納米位移臺XYMF-133-100A平移臺尺寸圖1二維納米位移臺XYMF-133-100A平移臺尺寸圖2

尺寸參數
外形尺寸(長*寬*高) 133.0*133.0*26.1 mm
臺面平面度 10 ?μm
總重量 653.8 g
運動參數
X軸 ±50 mm
Y軸 ±50 mm
運動速度上限 3 mm/s
材料
機身 鋁合金 /
驅動 PZT壓電陶瓷 /
驅動機構 鈹青銅 /
導線 屏蔽線,銅線 /
運動控制
閉環重復定位精度(20℃) 2 nm
閉環位置傳感器分辨率 2 nm
開環運動分辨率 0.05 nm
負載
垂直運動方向負載 20 N
沿運動方向負載 4 N
操作環境
操作溫度 0~60
操作濕度 溫度達到40℃時,相對濕度95%。(非冷凝) /
是否適用真空
其它
控制類型 開環/閉環 /
驅動電壓上限 125 V

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